Design of microsystems. Design and simulation of microsystems

DOI10.1007/978-3-642-57123-7MaRDI QIDQ4941496zbMATH OpenOpenAlexFDO

Authors Manfred Kasper

Publication date 9 March 2000

Full work available at URL https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7

zbMATH Keywords

designmicrosystemsnumerical solution algorithmsordinary differential equationspartial differential equations

Mathematics Subject Classification ID

Introductory exposition (textbooks, tutorial papers, etc.) pertaining to information and communication theory (94-01) Signal theory (characterization, reconstruction, filtering, etc.) (94A12)

Review text

Aus Kapitel 1: ``Ein Mikrosystem ist die miniaturisierte Gesamtheit integrierter Sensor-, Signalverarbeitungs- (oder Informationsverarbeitungs-) und Aktorkomponenten mit charakteristischen Abmessungen im Mikrometerbereich. Die Modellierung solcher Systeme durch gewöhnliche oder partielle Differentialgleichungen wird erörtert und Algorithmen zur numerischen Lösung dieser Gleichungen werden genannt. Es wird vorgeführt, wie technische Parameter als Minima geeigneter Funktionen gewählt werden können, um bestimmte Anforderungen an die Funktion von Mikrosystemen zu erfüllen. Numerische Verfahren zum Auffinden von Minima werden genannt.

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Cited in

(3)

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• Design of microsystems: Systems-theoretical aspects
• scientific article; zbMATH DE number 1833980 (Why is no real title available?)

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